Skip navigation
Home
Browse
Communities
& Collections
Browse Items by:
Issue Date
Author
Title
Subject
Source
Help
Language
English
русский
Sign on to:
My DSpace
Receive email
updates
Edit Profile
Репозиторий ТюмГУ
Search
Search:
All of DSpace
Научные издания
Вестник ТюмГУ: Физико-математическое моделирование. Нефть, газ, энергетика
for
Current filters:
Title
Author
Subject
Date Issued
Has File(s)
???jsp.search.filter.original_bundle_filenames???
???jsp.search.filter.original_bundle_descriptions???
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Title
Author
Subject
Date Issued
Has File(s)
???jsp.search.filter.original_bundle_filenames???
???jsp.search.filter.original_bundle_descriptions???
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Title
Author
Subject
Date Issued
Has File(s)
???jsp.search.filter.original_bundle_filenames???
???jsp.search.filter.original_bundle_descriptions???
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Title
Author
Subject
Date Issued
Has File(s)
???jsp.search.filter.original_bundle_filenames???
???jsp.search.filter.original_bundle_descriptions???
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Start a new search
Add filters:
Use filters to refine the search results.
Title
Author
Subject
Date Issued
Has File(s)
???jsp.search.filter.original_bundle_filenames???
???jsp.search.filter.original_bundle_descriptions???
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Results 1-2 of 2 (Search time: 0.005 seconds).
previous
1
next
Item hits:
Issue Date
Title
Author(s)
2013
Исследование состава пересыщенных по кремнию слоев нитрида кремния с помощью вторично-ионной масс-спектрометрии
Zhuravsky, D. V.; Laskin, G. P.; Misyuk, K. V.; Udovichenko, S. Yu.; Журавский, Д. В.; Ласкин, Г. П.; Мисиюк, К. В.; Удовиченко, С. Ю.
2013
Получение с помощью характеристик магнетронного разряда слоев нитрида кремния стехиометрического состава и с пересыщением по кремнию
Zhuravsky, D. V.; Laskin, G. P.; Misyuk, K. V.; Udovichenko, S. Yu.; Журавский, Д. В.; Ласкин, Г. П.; Мисиюк, К. В.; Удовиченко, С. Ю.
Discover
Author
2
Laskin, G. P.
2
Misyuk, K. V.
2
Журавский, Д. В.
2
Ласкин, Г. П.
2
Мисиюк, К. В.
2
Удовиченко, С. Ю.
Subject
2
an efficient source of light
2
слой нитрида кремния
1
a layer of silicon nitride
1
ion implantation
1
magnetron spraying
1
secondary-ion mass-spectrometry
1
the layer of silicon nitride
1
вторично-ионная масс-спектрометрия
1
ионная имплантация
1
магнетронное напыление
.
next >
Has File(s)
2
true