Репозиторий ТюмГУ: Search

Search

Search:
for

Current filters:

Results/Page | Sort items by In order Authors/record

Results 1-2 of 2 (Search time: 0.002 seconds).

Item hits:

Issue Date	Title	Author(s)
2013	Исследование состава пересыщенных по кремнию слоев нитрида кремния с помощью вторично-ионной масс-спектрометрии	Zhuravsky, D. V.; Laskin, G. P.; Misyuk, K. V.; Udovichenko, S. Yu.; Журавский, Д. В.; Ласкин, Г. П.; Мисиюк, К. В.; Удовиченко, С. Ю.
2013	Получение с помощью характеристик магнетронного разряда слоев нитрида кремния стехиометрического состава и с пересыщением по кремнию	Zhuravsky, D. V.; Laskin, G. P.; Misyuk, K. V.; Udovichenko, S. Yu.; Журавский, Д. В.; Ласкин, Г. П.; Мисиюк, К. В.; Удовиченко, С. Ю.