Browsing by Author Misyuk, K. V.
Showing results 1 to 2 of 2
Issue Date | Title | Author(s) |
2013 | Исследование состава пересыщенных по кремнию слоев нитрида кремния с помощью вторично-ионной масс-спектрометрии | Zhuravsky, D. V.; Laskin, G. P.; Misyuk, K. V.; Udovichenko, S. Yu.; Журавский, Д. В.; Ласкин, Г. П.; Мисиюк, К. В.; Удовиченко, С. Ю. |
2013 | Получение с помощью характеристик магнетронного разряда слоев нитрида кремния стехиометрического состава и с пересыщением по кремнию | Zhuravsky, D. V.; Laskin, G. P.; Misyuk, K. V.; Udovichenko, S. Yu.; Журавский, Д. В.; Ласкин, Г. П.; Мисиюк, К. В.; Удовиченко, С. Ю. |