Репозиторий ТюмГУ: Просмотр архива электронных ресурсов

Просмотр собрания по группе - Тема magnetron spraying

Перейти к: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
или введите несколько первых букв:

Результаты 1 по 2 из 2

Дата выпуска	Название	Автор(ы)
2013	Production of silicon nitride layers with stoichiometric composition and supersaturation on silicon with the help of the characteristics of magnetron discharge	Zhuravsky, D. V.; Laskin, G. P.; Misiyuk, K. V.; Udovichenko, S. Yu.; Журавский, Д. В.; Ласкин, Г. П.; Мисиюк, К. В.; Удовиченко, С. Ю.
2013	Получение с помощью характеристик магнетронного разряда слоев нитрида кремния стехиометрического состава и с пересыщением по кремнию	Zhuravsky, D. V.; Laskin, G. P.; Misyuk, K. V.; Udovichenko, S. Yu.; Журавский, Д. В.; Ласкин, Г. П.; Мисиюк, К. В.; Удовиченко, С. Ю.

Результаты 1 по 2 из 2