Просмотр собрания по группе - Тема the layer of silicon nitride
Результаты 1 по 2 из 2
| Дата выпуска | Название | Автор(ы) |
|---|---|---|
| 2013 | The study of the composition of silicon-supersaturated layers of silicon nitride with the help of secondary ion mass spectrometry | Zhuravsky, D. V.; Laskin, G. P.; Misyuk, K. V.; Udovichenko, S. Yu.; Журавский, Д. В.; Ласкин, Г. П.; Мисиюк, К. В.; Удовиченко, С. Ю. |
| 2013 | Исследование состава пересыщенных по кремнию слоев нитрида кремния с помощью вторично-ионной масс-спектрометрии | Zhuravsky, D. V.; Laskin, G. P.; Misyuk, K. V.; Udovichenko, S. Yu.; Журавский, Д. В.; Ласкин, Г. П.; Мисиюк, К. В.; Удовиченко, С. Ю. |