Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.utmn.ru/jspui/handle/ru-tsu/29441
| Название: | Моделирование процесса ионно-плазменного легирования |
| Другие названия: | Simulation of ion-plasma doping process |
| Авторы: | Ласкин, Γ. Π.
Кузнецов, А. П.
Laskin, Γ. Π.
Kuznetsov, A. P. |
| Ключевые слова: | ионно-плазменное легирование
поверхность
моделирование
ion-plasma doping
surface
simulation |
| Дата публикации: | 2010 |
| Издатель: | Издательство Тюменского государственного университета |
| Библиографическое описание: | Ласкин, Γ. Π. Моделирование процесса ионно-плазменного легирования / Г. П. Ласкин, А. П. Кузнецов. — Текст : электронный // Вестник Тюменского государственного университета / главный редактор Г. Ф. Шафранов-Куцев. — Тюмень : Издательство Тюменского государственного университета, 2010. — № 6. — С. 64–67. |
| Аннотация (реферат): | Создана компьютерная программа для моделирования процесса внедрения ионного пучка в металлы. Представлены результаты моделирования. Сделаны выводы о пригодности использованной модели для описания процессов ионно-плазменного легирования.
A computer program to simulate the process of introduction of the ion beam in metals is created. The article presents the results of simulation process. The conclusion about the suitability of the model to describe the processes of ion-plasma doping is made. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.utmn.ru/jspui/handle/ru-tsu/29441 |
| ISSN: | 1562-2983 |
| Источник: | Вестник Тюменского государственного университета. — 2010. — № 6 |
| Располагается в коллекциях: | Вестник ТюмГУ: Физико-математическое моделирование. Нефть, газ, энергетика
|
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.
Skip navigation