Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.utmn.ru/jspui/handle/ru-tsu/29441
| Title: | Моделирование процесса ионно-плазменного легирования |
| Other Titles: | Simulation of ion-plasma doping process |
| Authors: | Ласкин, Γ. Π.
Кузнецов, А. П.
Laskin, Γ. Π.
Kuznetsov, A. P. |
| Keywords: | ионно-плазменное легирование
поверхность
моделирование
ion-plasma doping
surface
simulation |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | Издательство Тюменского государственного университета |
| Citation: | Ласкин, Γ. Π. Моделирование процесса ионно-плазменного легирования / Г. П. Ласкин, А. П. Кузнецов. — Текст : электронный // Вестник Тюменского государственного университета / главный редактор Г. Ф. Шафранов-Куцев. — Тюмень : Издательство Тюменского государственного университета, 2010. — № 6. — С. 64–67. |
| Abstract: | Создана компьютерная программа для моделирования процесса внедрения ионного пучка в металлы. Представлены результаты моделирования. Сделаны выводы о пригодности использованной модели для описания процессов ионно-плазменного легирования.
A computer program to simulate the process of introduction of the ion beam in metals is created. The article presents the results of simulation process. The conclusion about the suitability of the model to describe the processes of ion-plasma doping is made. |
| URI: | https://elib.utmn.ru/jspui/handle/ru-tsu/29441 |
| ISSN: | 1562-2983 |
| Source: | Вестник Тюменского государственного университета. — 2010. — № 6 |
| Appears in Collections: | Вестник ТюмГУ: Физико-математическое моделирование. Нефть, газ, энергетика
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Skip navigation