| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ласкин, Γ. Π. | ru |
| dc.contributor.author | Кузнецов, А. П. | ru |
| dc.contributor.author | Laskin, Γ. Π. | en |
| dc.contributor.author | Kuznetsov, A. P. | en |
| dc.date.accessioned | 2023-12-25T06:13:30Z | - |
| dc.date.available | 2023-12-25T06:13:30Z | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.citation | Ласкин, Γ. Π. Моделирование процесса ионно-плазменного легирования / Г. П. Ласкин, А. П. Кузнецов. — Текст : электронный // Вестник Тюменского государственного университета / главный редактор Г. Ф. Шафранов-Куцев. — Тюмень : Издательство Тюменского государственного университета, 2010. — № 6. — С. 64–67. | ru |
| dc.identifier.issn | 1562-2983 | - |
| dc.identifier.uri | https://elib.utmn.ru/jspui/handle/ru-tsu/29441 | - |
| dc.description.abstract | Создана компьютерная программа для моделирования процесса внедрения ионного пучка в металлы. Представлены результаты моделирования. Сделаны выводы о пригодности использованной модели для описания процессов ионно-плазменного легирования. | ru |
| dc.description.abstract | A computer program to simulate the process of introduction of the ion beam in metals is created. The article presents the results of simulation process. The conclusion about the suitability of the model to describe the processes of ion-plasma doping is made. | en |
| dc.description.sponsorship | Работа выполнена в рамках реализации ФЦП «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009-2013 годы. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | en |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | Издательство Тюменского государственного университета | ru |
| dc.relation.ispartof | Вестник Тюменского государственного университета. — 2010. — № 6 | ru |
| dc.subject | ионно-плазменное легирование | ru |
| dc.subject | поверхность | ru |
| dc.subject | моделирование | ru |
| dc.subject | ion-plasma doping | en |
| dc.subject | surface | en |
| dc.subject | simulation | en |
| dc.title | Моделирование процесса ионно-плазменного легирования | ru |
| dc.title.alternative | Simulation of ion-plasma doping process | en |
| dc.type | Article | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/article | en |
| local.description.firstpage | 64 | - |
| local.description.lastpage | 67 | - |
| local.issue | 6 | - |
| local.identifier.uuid | ebc599f6-14bd-4f8b-a0ef-e95691b1c46f | - |
| local.identifier.handle | ru-tsu/29441 | - |
| Appears in Collections: | Вестник ТюмГУ: Физико-математическое моделирование. Нефть, газ, энергетика
|
Skip navigation