Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.utmn.ru/jspui/handle/ru-tsu/29441
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorЛаскин, Γ. Π.ru
dc.contributor.authorКузнецов, А. П.ru
dc.contributor.authorLaskin, Γ. Π.en
dc.contributor.authorKuznetsov, A. P.en
dc.date.accessioned2023-12-25T06:13:30Z-
dc.date.available2023-12-25T06:13:30Z-
dc.date.issued2010-
dc.identifier.citationЛаскин, Γ. Π. Моделирование процесса ионно-плазменного легирования / Г. П. Ласкин, А. П. Кузнецов. — Текст : электронный // Вестник Тюменского государственного университета / главный редактор Г. Ф. Шафранов-Куцев. — Тюмень : Издательство Тюменского государственного университета, 2010. — № 6. — С. 64–67.ru
dc.identifier.issn1562-2983-
dc.identifier.urihttps://elib.utmn.ru/jspui/handle/ru-tsu/29441-
dc.description.abstractСоздана компьютерная программа для моделирования процесса внедрения ионного пучка в металлы. Представлены результаты моделирования. Сделаны выводы о пригодности использованной модели для описания процессов ионно-плазменного легирования.ru
dc.description.abstractA computer program to simulate the process of introduction of the ion beam in metals is created. The article presents the results of simulation process. The conclusion about the suitability of the model to describe the processes of ion-plasma doping is made.en
dc.description.sponsorshipРабота выполнена в рамках реализации ФЦП «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009-2013 годы.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.language.isoruen
dc.publisherИздательство Тюменского государственного университетаru
dc.relation.ispartofВестник Тюменского государственного университета. — 2010. — № 6ru
dc.subjectионно-плазменное легированиеru
dc.subjectповерхностьru
dc.subjectмоделированиеru
dc.subjection-plasma dopingen
dc.subjectsurfaceen
dc.subjectsimulationen
dc.titleМоделирование процесса ионно-плазменного легированияru
dc.title.alternativeSimulation of ion-plasma doping processen
dc.typeArticleen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/articleen
local.description.firstpage64-
local.description.lastpage67-
local.issue6-
local.identifier.uuidebc599f6-14bd-4f8b-a0ef-e95691b1c46f-
local.identifier.handleru-tsu/29441-
Располагается в коллекциях:Вестник ТюмГУ: Физико-математическое моделирование. Нефть, газ, энергетика

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
vestnikTyumGU_2010_6_64_67.pdf2,63 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.