Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.utmn.ru/jspui/handle/ru-tsu/14559
Title: Моделирование сильноточного разряда низкого давления в плоском и цилиндрическом магнетронах
Other Titles: Modeling of high-current low-pressure discharge in planar and cylindrical magnetrons
Authors: Удовиченко, Сергей Юрьевич
Sergey, Yu Udovichenko
Keywords: simulation of high-current form of glow discharge;Magnetic hydrodynamics;прямой и обращенный цилиндрические магнетроны;direct and inverted cylindrical magnetrons;моделирование сильноточной формы тлеющего разряда;магнитная гидродинамика;Плазма
Issue Date: 2015
metadata.dc.relation.ispartof: Вестник ТюмГУ: Физико-математическое моделирование. Нефть, газ, энергетика. 2015. Том 1 №1(1)
Abstract: Развита гидродинамическая модель сильноточной формы тлеющего разряда низкого давления в плоском магнетроне и представлена модель этого разряда в цилиндрическом и обращенном цилиндрическом магнетронах. Модели учитывают генерацию быстрых электронов за счет γ–процессов на катоде под действием падающих на него ионов плазмы. Найдены условия самоподдержания разряда, позволяющие оценить напряжение горения разряда, определить критические значения магнитного поля и давления остаточного газа, ниже которых существование сильноточной формы разряда становится невозможным. Проведено сравнение условий самоподдержания разряда в магнетронах различной . A hydrodynamic model of high-current form of glow discharge of low pressure in a planar magnetron is developed. A model of this discharge in cylindrical and inverted cylindrical magnetrons is also presented. The models take into account the generation of fast electrons due to γ–processes at the cathode under the action of incident plasma ions. The conditions of self-sustaining discharge are revealed, which allows to evaluate the burning voltage of discharge, to determine the critical value of the magnetic field and the residual gas pressure below which the existence of high-current form of discharge becomes impossible. The conditions of self-sustaining discharge in magnetrons of different geometry were compared.
URI: https://elib.utmn.ru/jspui/handle/ru-tsu/14559
Appears in Collections:Вестник ТюмГУ: Физико-математическое моделирование. Нефть, газ, энергетика

Files in This Item:
File SizeFormat 
5_С.Ю. Удовиченко.pdf1,45 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.